サイズ |
10x10mm, 15x15mm, 20x20mm (※ 20x20mmは(100)のみ) |
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厚み |
0.5mm, 1mm等 |
研磨 |
片面研磨、両面研磨 |
面方位 |
(100), (110), (111) |
SrTiO3単結晶基板(チタン酸ストロンチウム単結晶基板)は高温超電導体や強誘電体をはじめ、様々な薄膜作製に使われております。ベルヌーイ法で育成されている歴史のある結晶です。
(100)研磨面にウェットエッチングを施すことにより、TiO2終端のステップテラス面を比較的容易に得られるためエピタキシャル成長用基板として世界中で使われております。
弊社では、STEP処理済の基板(所謂、STEP基板)の取り扱いはございませんが、基板ご購入者様には
STEP&テラス面出しに役立つレシピをご提供申し上げておりますので、お気軽にお声掛け下さい。
販売業者様によって価格差が大きい単結晶ですが、弊社が販売するSrTiO3基板は非常に廉価で
コストパフォーマンスに優れているのが特徴です。
もちろん品質も良好なので、大量使用だけでなくここぞという時のご研究にも採用されることが多いです。
また、特注での受注生産となりますが面方位をシビアに管理した基板の提供も行っております。
(例:+/- 0.1~0.15°off)
結晶育成方法 |
ベルヌーイ |
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結晶構造 |
Cubic |
格子定数(nm) |
a=0.3905 |
結晶カラー |
無色~やや黄色 |
密度 (g/cm3, 25℃) |
5.12 |
溶融温度 (K) |
2353 |
熱伝導率 (K-1) |
9×10-6 |
比誘電率 |
300 |
損失係数 (77K, 10GHz) |
2×10-2 |
硬度 (Mohs) |
6 – 6.5 |
※上記数値は保証値でなく、一般値です。