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サファイア単結晶ウエハー(c) サファイア単結晶ウエハー(c)

サファイアウエハー(c)はGaNやAlNを始めとするLED用途に使われる定番の材料であり、　
酸化物薄膜の作製にも頻繁に用いられます。価格が安く、大量使用に向いております。
表面平坦性や面粗さに優れたK&Rのサファイアウエハーを是非お試し下さい。

サファイア単結晶ウエハ(c)、2″φ x 0.43mm t

面精度

+0.2°off to  

(+/- 0.1°)

外径公差

+/- 0.1mm

厚み公差

+/- 25um

オリフラ

(11-20) (+/- 0.2°）, 16mm

面粗さ

エピ面 Ra<0.2nm

fine ground Ra=0.8~1.2um程度

TTV, WARP, BOW

< 10um

その他

Class100クリーンルームにて

洗浄・梱包

サファイアウエハ単結晶(c)、3″φ x 0.5mm t

面精度

+0.2°off to  

(+/- 0.1°)

外径公差

+/- 0.1mm

厚み公差

+/- 25um

オリフラ

(11-20) (+/- 0.2°）, 22mm

面粗さ

エピ面 Ra<0.2nm

fine ground Ra=0.8~1.2um程度

TTV, WARP, BOW

< 15um

その他

Class100クリーンルームにて

洗浄・梱包

サファイアウエハ単結晶(c)、4″φ x 0.65mm t

面精度

+0.2°off to  

(+/- 0.1°)

外径公差

+/- 0.1mm

厚み公差

+/- 25um

オリフラ

(11-20) (+/- 0.2°）, 30mm

面粗さ

エピ面 Ra<0.2nm

fine ground Ra=0.8~1.2um程度

TTV, WARP, BOW

< 20um

その他

Class100クリーンルームにて

洗浄・梱包

サファイアウエハ単結晶(c)、5″φ x 0.65mm t

面精度

+0.2°off to  

(+/- 0.1°)

外径公差

+/- 0.1mm

厚み公差

+/- 25um

オリフラ

(11-20) (+/- 0.2°）, 42mm

面粗さ

エピ面 Ra<0.2nm

fine ground Ra=0.8~1.2um程度

TTV, WARP, BOW

< 20um

その他

Class100クリーンルームにて

　 　　 　洗浄・梱包

サファイアウエハ単結晶(c)、6″φ x 1.3mm t

面精度

+0.2°off to  

(+/- 0.1°)

外径公差

+/- 0.2mm

厚み公差

+/- 25um

オリフラ

(11-20) (+/- 0.2°）, 47mm

面粗さ

エピ面 Ra<0.2nm

fine ground Ra=0.8~1.2um程度

TTV, WARP, BOW

< 25um

その他

Class100クリーンルームにて

洗浄・梱包

サファイアウエハ単結晶(c)、8″φ x 1.3~1.5mm t

面精度

+0.2°off to  

(+/- 0.1°)

外径公差

+/- 0.2mm

厚み公差

+/- 25um

オリフラ

要打ち合わせ

面粗さ

エピ面 Ra<0.2nm

fine ground Ra=0.8~1.2um程度

TTV, WARP, BOW

< 30um

その他

Class100クリーンルームにて

洗浄・梱包

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