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REBCO超伝導薄膜(YBCO, DyBCO, NdBCO) REBCO superconductive thin films

K&Rが日本総代理店を務めるCeraco Ceramic Coating GmbH社(独)が作る超伝導薄膜は、共蒸着法(co-evaporation method)を用いて作られます。様々な単結晶基板上に均一性の良い高品質な成膜が可能です。

成膜に使われる代表的な単結晶基板につきましては、下記ご参照下さい。

基板

サイズ※1

バッファ層

成膜厚み (nm)

MgO

10x10mm~2″φ

なし

50~1500

サファイア

10×10~50x50mm、2″φ~4″φ等

CeO2

~300※2

SrTiO3

10×10~20x20mm

CeO2

~1000

LaAlO3

10×10~20x20mm, 2″φ等

CeO2

~1000

YSZ

10×10~20x20mm

CeO2

~1000

※1 市場にて安定納期で入手可能な基板のサイズを記載しています。その他サイズにもご対応可能な場合がございます。
成膜自体は8″φまで可能です。

※2 サファイア基板と超伝導膜の熱膨張率がミスマッチする関係から
成膜可能厚みが最大300nmまでとなっております。

Mタイプ (Y & Cu rich)

Tc > 87K             
Jc(77K) > 2MA/cm2
Rs < 500uΩ (@77K,10GHz)

※ 上記保証値は薄膜厚みが >300nmの場合です 。

(主な用途)              
マイクロ波デバイス
High Jc application
FCL(超伝導限流器)

Sタイプ (Cu rich)

Tc > 86K
Jc (77K) > 1.5MA/cm2
※ 上記保証値は薄膜厚みが >300nmの場合です。

(主な用途)
SQUID、Micron-linewidth patterning

また、超伝導膜上にAuコンタクトレイヤー(40~200nm)やCeO2キャップレイヤー(10~100nm)の成膜、
及び成膜後のパターニング(この場合は図面のご提出をお願い致します)も承っております。

お問い合わせ時は
① 成膜面(片面or両面)
② 成膜厚み
③ フィルムタイプ(M or S)
④ 基板、サイズ
⑤ 数量

をご教示いただけましたら、スムーズにお見積もりを差し上げることが出来ます。

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