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(!固定ページに移行)Pt 1軸配向膜 on シリコンウエハー Pt/TiO2/SiO2 on Sillicon

中国製の高品質Pt/Ti/SiO2/Siウエハーの取り扱いを開始致しました!

プラチナ (Pt) は遷移金属であり、純金属の中で最も高い酸素還元触媒活性、1769 °C という比較的高い融点、従来のワイヤウェッジボンディングに適合するに十分な耐力強度があります。

それ故、Ptは燃料電池の電極触媒電極や電子デバイスの高温耐食性相互接続などの用途の薄膜技術において魅力的な材料です。

Pt(111)厚み:150nm
Tiバッファ厚み:30nm
SiO2バッファ厚み:300nm
Siウエハ:4″φx0.5mm t (100) P-type/Boron doped

K&RではPt/Siの需要増加を受け、様々なメーカー品をテストし良い結晶性のメーカー品を採用するに至りました。市場に出回っている従来品と比べて、非常に高品質であることが確認されています!
10x10mmなどにカットしてのご提供も可能です。


Omega-scan data

コチラからご覧下さい!

(測定ご協力:東京工業大学・安井研究室

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