サイズ |
10×10~50x50mm、2″φ、3″φ等 |
---|---|
厚み |
0.5mm、1mm、0.1mm等 |
研磨 |
片面エピ研磨、両面エピ研磨 |
面方位 |
(100), (110), (111) |
純度 |
MgO > 99.99% Ca : 12.517 ppm Si : 3.758 ppm Al : 5.920 ppm Cr : 0.559 ppm Fe : 4.229 ppm B : 4.614 ppm ※ ICP発光分光分析法 数値は代表値であり、保証値ではございません |
MgO単結晶基板は高温超伝導や磁性半導体等、幅広い分野にて使われております。
特に超伝導分野においては、誘電率の小ささや比較的安価なことから、実用化を目指すマイクロ波帯デバイスの基板として長年採用されております。また、格子ミスマッチが大きい割には超伝導体やペロブスカイト酸化物がエピ成長します。
K&Rでは定番の10x10mmから大口径のφ基板まで、様々な仕様のMgO基板を販売しております。
なお、潮解性が強い基板故、品質維持のために10枚毎に真空パッキングを行っております。
そのため、基本的な最小販売数量は10枚となりますこと、ご容赦下さい。
※ 面粗さや不純物データ等、ご参考情報として事前にご提供可能です。
品質がご不安でしたらご遠慮なくお問合せ下さい。
結晶育成方法 |
Arc fusion |
---|---|
結晶構造 |
Cubic |
格子定数(nm) |
a=0.4212 |
結晶カラー |
無色 |
密度 (g/cm3) |
3.58 |
溶融温度 (K) |
3050 |
熱伝導率 (W/m K) |
~30 |
比誘電率 |
9.6 |
損失係数 |
3.3×10-7 |
硬度 (Mohs) |
5.8 |
※ 上記数値は保証値でなく、一般値です。