中国製の高品質Pt(111)/Ti/SiO2/Siウエハーの取り扱いを開始致しました！
遷移金属のプラチナ (Pt) は、純金属の中で最も高い酸素還元触媒活性、1769 °C という比較的高い融点を持っています。また、硬度が高く、低抵抗で溶接性が良いため導電性基板として利用できます。
Pt/Siは燃料電池の電極触媒電極や電子デバイスの高温耐食性相互接続などの用途において魅力的な材料です。
Pt(111)厚み：150nm
Tiバッファ厚み：30nm
SiO2バッファ厚み：300nm
Siウエハ：4″φx0.5mm t (100) P-type/Boron doped
K&RではPt/Siの需要増加を受け、様々なメーカー品をテストし良い結晶性の製品を採用するに至りました。高温成膜品※(500℃以上)のため、低温成膜品(
Omega-scan data
Pt/Ti/SiO2/Siウエハー 結晶性データ
（測定ご協力：東京工業大学・安井研究室）
